平面玻璃厚度测量,曲面玻璃厚度测量,不透明产品厚度测量,平面度/段差测量。
光谱共焦测厚仪,中文应用范围:3C、半导体、汽车、新能源等领域。
1. 适应性强;
2. 精度高;
3. 稳定性强;
4. 感光度高。
序号 | 项目 | 参数 |
测量头 |
||
1 |
型号 |
CDS-2001.5 |
2 |
工作距离 |
20mm |
3 |
测量范围 |
±0.75mm |
4 |
线性度 |
±0.6μm(校准后满量程测量时最大误差值) |
5 |
分辨率 |
0.05μm(测量中心零点平均10噪声大小程度) |
6 |
光斑大小 |
35μm(量程中心位置理论光斑直径) |
7 |
重复精度 |
0.6μm(重复取放样品50次) |
8 |
尺寸 |
Φ20*69mm |
控制器 |
||
1 |
型号 |
CDS-5508 |
2 |
PC接口 |
USB |
3 |
通讯接口 |
串口 |
4 |
额定电压 |
DC24V |
5 |
额定电流 |
1A |
6 |
尺寸 |
149mm×96mm×122mm |