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产品中心 光谱共焦测厚仪
光谱共焦测厚仪

光谱共焦测厚仪

平面玻璃厚度测量,曲面玻璃厚度测量,不透明产品厚度测量,平面度/段差测量。

产品详情

应用领域

光谱共焦测厚仪,中文应用范围:3C、半导体、汽车、新能源等领域。

产品特点

1. 适应性强;

2. 精度高;

3. 稳定性强;

4. 感光度高。

产品参数

测量头

序号

项目

参数

1

型号

CDS-2001.5

2

工作距离

20mm

3

测量范围

±0.75mm

4

线性度

±0.6μm(校准后满量程测量时最大误差值)

5

分辨率

0.05μm(测量中心零点平均10噪声大小程度)

6

光斑大小

35μm(量程中心位置理论光斑直径)

7

重复精度

0.6μm(重复取放样品50次)

8

尺寸

Φ20*69mm



控制器

序号

项目

参数

1

型号

CDS-5508

2

PC接口

USB

3

通讯接口

串口

4

额定电压

DC24V

5

额定电流

1A

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