激光曝光机辅助对位设备

设备用途:

本设备主要用于激光曝光机辅助对位,利用显微镜放大原理,结合多镜头组合精确的找到产品相对Mark点的精准坐标,并将坐标信息提供给曝光机进行精准曝光

设备特点:

 

1、设备采用6个500万像素相机组合的方式代替传统二次元单相机取点的方式,实现每片盖板只需要一次拍照即可取到6个点,从速度上是原有设备的5倍。

2、设备采用移动式大尺寸面光源,完全可以满足待测载具700*700mm测量需求。

3、设备采用大理石平台,双立柱结构,具有良好的抗震性,失效形变小。

4、测量精度偏差可以控制在20μm以内。机进行精准曝光。


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  • 应用领域
  • 技术参数

3D曲面手机盖板玻璃,车载玻璃,智能家具家电等面板领域

                                         设备参数
                   项 目                   参 数 
外形尺寸 1600*1200*1700mm
设备重量 1150KG
电源220VAC,50Hz
功率1.5KW
主机控制 PC+轴卡 
相机高分辨率面阵相机
光源800*1000mm
运动行程700*800mm
设备精度 ≤20μm 


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